萬業(yè)企業(yè)回復問詢函：集成電路前道裝備業(yè)務獲巨大突破

    本報記者 施露

    6月16日晚間，萬業(yè)企業(yè)就上交所年報問詢進行了回復，進一步說明公司向集成電路領域轉型的實施情況及產(chǎn)品進展等內(nèi)容。公告顯示，國內(nèi)一家重要的12英寸晶圓芯片制造廠與一家存儲器芯片設計制造廠已對萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通集成電路離子注入設備啟動認證程序，萬業(yè)企業(yè)集成電路前道裝備業(yè)務獲得巨大突破。

    公告表示，鑒于目前國際形勢，芯片國產(chǎn)化需求日益迫切，在國內(nèi)集成電路制造廠盡可能采購國內(nèi)設備的背景下，凱世通的集成電路低能大束流離子注入機在國內(nèi)市場的需求正逐步放大。凱世通客戶的上游企業(yè)（國內(nèi)知名的芯片設計公司）、重要的12英寸晶圓芯片制造廠及存儲器芯片設計制造廠正在對凱世通設備進行認證，并盡快投入工廠端的測試驗證，助力凱世通盡快完成驗證工作。一旦驗證率先完成，將填補國內(nèi)前道設備空白，為公司建立起更高的技術壁壘，提升公司行業(yè)競爭力，也將提升國內(nèi)集成電路設備的國產(chǎn)化率，對國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略發(fā)展也將有遠大的意義。

    萬業(yè)企業(yè)表示，公司已明確凱世通以集成電路離子注入機為發(fā)展重心，對其在集成電路領域的銷售策略及生產(chǎn)安排也做了相應的優(yōu)先調(diào)整，積極開拓其他業(yè)務合作伙伴，日前也已成功拓展臺灣主要前道設備供應商，取得離子注入平臺業(yè)務訂單。未來有望為全球先進制程邏輯、存儲、5G射頻、攝像頭CIS、功率半導體等不同應用領域芯片客戶提供離子注入工藝服務，協(xié)同國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)穩(wěn)步前行。

    此外，凱世通新一代iPV6000光伏離子注入機首臺設備已在公司組裝完成初步調(diào)試即產(chǎn)品下線，目前已進入驗證階段，在客戶工藝產(chǎn)線上進行調(diào)試，待設備在客戶生產(chǎn)端環(huán)境下滿足客戶產(chǎn)能和質(zhì)量等多項指標后，便可完成。目前凱世通已與一家光伏行業(yè)頭部公司簽署了試用訂單，自主研發(fā)產(chǎn)品持續(xù)得到市場有效轉化。

    萬業(yè)企業(yè)通過全資并購凱世通成為國內(nèi)唯一全領域離子注入機公司，產(chǎn)品覆蓋到集成電路、光伏和AMOLED領域等。據(jù)了解，凱世通專研的離子注入在芯片制造前道工藝中是不可或缺的工藝，并且研發(fā)出的低能大束流離子注入機更是半導體制造中最為核心設備之一，其開發(fā)難度僅次于光刻機，存在較高的行業(yè)競爭壁壘。因此，萬業(yè)企業(yè)在離子注入行業(yè)領域內(nèi)具有絕對的領先優(yōu)勢地位。

（編輯 才山丹）